分子束外延、有機金屬鍍膜OLED、磁控濺射、電子束、離子束、離子減薄儀,刻蝕機、各種CVD、熱蒸發(fā)；自循環(huán)恒溫制冷水箱；真空部件；真空電源：射頻中頻直流。